電鏡隔振方案

近日，我司工程師赴上海及遵義為客戶安裝調(diào)試掃描隧道顯微鏡（STM）和掃描電鏡(SEM)的隔振，經(jīng)過HERZ AVI 200隔振后，STM和SEM方可正常運(yùn)行，放大倍數(shù)達(dá)到20-30萬(wàn)倍，極大地提高了其圖像的穩(wěn)定性，客戶對(duì)此深表滿意。

HERZ的AVI 200主動(dòng)隔振臺(tái)是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對(duì)靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng)，以提高精密設(shè)備的性能，具有卓越的性能及通用性。該隔振臺(tái)的主動(dòng)隔振頻率為 0.5Hz - 200Hz，被動(dòng)隔振頻率>200Hz，其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備中，主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除；允許自由選擇整個(gè)系統(tǒng)的尺寸和配置，可通過增加隔振模塊的數(shù)量來支持更大的儀器載重量。安裝簡(jiǎn)單，易操作，穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年。

廣州市固潤(rùn)光電科技有限公司